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渦輪分子泵是一種高真空泵或更高真空泵，主要由轉(zhuǎn)子和定子組成。一般來(lái)說(shuō)，渦輪分子泵一般與離子泵和升華泵結(jié)合使用，以排除氫氣、氦和其他惰性氣體，泵不容易排除，以避免不必要的浪費(fèi)，通常不使用渦輪分子泵在小流量和大速度。
此外，在使用渦輪分子泵時(shí)，還應(yīng)注意以下事項(xiàng)：
1.為防止渦輪分子泵返油，在啟動(dòng)渦輪分子泵之前，先將前級(jí)泵泵至2托，然后再啟動(dòng)渦輪分子泵。
2.可以在渦輪分子泵和前級(jí)泵之間串聯(lián)一個(gè)擋油陷阱，防止機(jī)械泵油蒸汽返回油。
3.當(dāng)前級(jí)泵工作（前級(jí)管道連接）和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)，不要停止渦輪分子泵，否則油蒸汽將迅速?gòu)那凹?jí)管道返回到泵的清潔端。
4.在選擇系統(tǒng)前級(jí)泵大小時(shí)，應(yīng)保持渦輪分子泵的前級(jí)泵處于分子流狀態(tài)。
5.不允許渦輪分子泵以低于額定工作速度運(yùn)行。
6.分子泵入口應(yīng)安裝防護(hù)網(wǎng)，以免異物進(jìn)入泵內(nèi)，損壞轉(zhuǎn)子和定子葉片。
天之華提醒您，標(biāo)準(zhǔn)化使用渦輪分子泵，可以有效提高真空泵的使用效率，延長(zhǎng)使用壽命。
渦輪分子泵是一種真空泵，它利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)態(tài)葉輪將動(dòng)量傳遞給氣體分子，從而產(chǎn)生氣體的定向流動(dòng)。渦輪分子泵的特點(diǎn)是起動(dòng)快，能抵抗各種射線的照射，抵抗大氣沖擊，無(wú)氣體儲(chǔ)存和解吸效應(yīng)，無(wú)油蒸汽污染或污染少，可獲得清潔的更高真空；在操作過(guò)程中，高泵送速度不受高負(fù)荷或雜質(zhì)氣體入侵的影響。
渦輪分子泵廣泛應(yīng)用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器、真空涂層等需要獲得高真空的制造工藝。