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專(zhuān)業(yè)分子泵維修分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱(chēng)，是一種非常常見(jiàn)的獲得高真空和更高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大，分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強(qiáng)制風(fēng)冷和水冷。300l/s以下的分子泵，在沒(méi)有氣體負(fù)載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負(fù)載時(shí)，需要選擇強(qiáng)制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）；對(duì)于有些負(fù)載很大的應(yīng)用（比如CVD），或者不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境（如輻射環(huán)境），需要采取水冷，無(wú)論采取哪種冷卻方式，分子泵工作的環(huán)境溫度都要保持在5-35攝氏度之間，采取水冷時(shí)，要采用經(jīng)過(guò)處理的軟水，冷卻水的溫度和流量也要滿(mǎn)足說(shuō)明書(shū)的要求。
分子泵工作時(shí)轉(zhuǎn)速很高（數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘），加減速過(guò)程中，不可避免的要經(jīng)過(guò)某些危險(xiǎn)的共振頻率，長(zhǎng)時(shí)間在這些共振頻率運(yùn)轉(zhuǎn)，會(huì)增加軸承負(fù)荷、進(jìn)而增加分子泵故障的風(fēng)險(xiǎn)。在真空下自然停泵（空擋滑行）時(shí)，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)一般建議分子泵停機(jī)時(shí)，手動(dòng)或者通過(guò)專(zhuān)用充氣閥（VentValve），通過(guò)充氣口充入空氣/氮?dú)?，增加轉(zhuǎn)子阻力使其快速停機(jī)；手動(dòng)充氣時(shí)，要注意控制充氣速度，使停機(jī)時(shí)間和分子泵啟動(dòng)時(shí)間相當(dāng)（根據(jù)泵的大小不同而不同，一般為3-10分鐘）。
分子泵出現(xiàn)這樣的情況需要盡快尋找專(zhuān)業(yè)分子泵維修廠家維修分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械，軸承故障可能會(huì)造成泵葉片打碎直接報(bào)廢；而當(dāng)軸承工作狀態(tài)不良時(shí)，會(huì)有一系列的現(xiàn)象，如分子泵無(wú)法啟動(dòng)，運(yùn)行噪音外加，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進(jìn)排氣壓力過(guò)高等外界因素后，應(yīng)盡快停泵，送到維修主題進(jìn)行檢修。