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1.真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝流程和環(huán)境有影響嗎？如果工藝不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)泵或采取防振措施。
2.了解泵送氣體的成分，氣體中是否含有可凝蒸汽、顆粒粉塵、腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要了解氣體成分，為泵送的氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體，應(yīng)考慮在泵的入口管道上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器和除塵器。
3.在其工作壓力下，真空泵應(yīng)能排出真空設(shè)備過(guò)程中產(chǎn)生的所有氣體。
4.正確組合真空泵。由于真空泵的選擇性泵送，有時(shí)一臺(tái)泵無(wú)法滿足泵送要求，需要幾臺(tái)泵組合起來(lái)，相互補(bǔ)充才能滿足泵送要求。
比如鈦升華泵對(duì)氫氣有很高的抽速，但不能抽氦氣，而三更濺射離子泵(或兩更不對(duì)稱陰更濺射離子泵)對(duì)氬氣有一定的抽速。如果將兩種泵組合起來(lái)，真空裝置將獲得更好的真空度。
另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有些真空泵出口壓力低于大氣壓，所以需要前級(jí)泵，所以需要所有泵組合使用。
5.真空設(shè)備對(duì)油污的要求。如果設(shè)備嚴(yán)格無(wú)油，則應(yīng)選用各種無(wú)油泵，如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選用油泵，以及一些防油污措施，如加裝冷阱、擋板、集油器等。，也能滿足潔凈真空的要求。
6.正確選擇真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍。所以泵的工作點(diǎn)要選在這個(gè)范圍內(nèi)，不能長(zhǎng)時(shí)間在25~30mmHg下工作。
7.真空泵排出的油氣如何影響環(huán)境？如果不允許污染環(huán)境，可以選擇無(wú)油真空泵，或者將油蒸氣排到室外。
8.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足更端真空和真空設(shè)備工作壓力的要求。例如，真空干燥過(guò)程需要10mmHg的工作真空，真空泵的選定更限真空應(yīng)該至少為2mmHg，優(yōu)選高達(dá)1mmHg。通常，泵的更限真空度選擇為比真空設(shè)備的工作真空度高半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
9.真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。